Silvaco TCAD 2014安裝包

Silvaco TCAD 2014是一套功能全面的、具有領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)的TCAD和EDA工具，其的核心產(chǎn)品涵蓋2D/3D TCAD、3D RC提取、SPICE模型提取、自定義設(shè)計(jì)、SPICE仿真和電源完整性簽收六大領(lǐng)域，功能強(qiáng)大，操作簡(jiǎn)便，例子庫(kù)相當(dāng)豐富，是初學(xué)TCAD的用戶最好的選擇

Silvaco TCAD 2014是以DeckBuild為運(yùn)行核心仿真器的交互式環(huán)境工具，他給半導(dǎo)體工藝所有階段的設(shè)計(jì)仿真提供了強(qiáng)大的幫助。Silvaco TCAD軟件包括可視工具DeckBuild和Tonyplot、器件編輯器DevEdit、工藝仿真工具ATHENA和器件仿真工具ATLAS，可以對(duì)肖特基梁式引線二極管進(jìn)行模擬設(shè)計(jì)及器件仿真。

軟件功能

【蝕刻和沉積】

具有用于快速結(jié)構(gòu)原型的幾何模型

用物理模型進(jìn)行詳細(xì)的工藝步驟分析

【植入】

具有非常快的分析模型

具有非常精確的蒙特卡羅模型

【退火】

配合全面的摻雜擴(kuò)散模型

具有氧化模型的層次結(jié)構(gòu)

【應(yīng)力模擬】

有壓力工程的壓力史

通用2D / 3D設(shè)備模擬器

四面體網(wǎng)格，用于精確的3D幾何表示

用于保形Delaunay網(wǎng)格的Voronoi離散化

先進(jìn)的物理模型，具有用戶自定義的硅和復(fù)合材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù)

應(yīng)力依賴移動(dòng)性和帶隙模型

使用C-Interpreter或動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)的高度可定制的物理模型

【DC，AC和瞬態(tài)分析】

漂移擴(kuò)散和能量平衡傳輸方程

自發(fā)熱效應(yīng)的自相關(guān)模擬，包括發(fā)熱，熱流，晶格加熱，散熱器和溫度依賴性材料參數(shù)

高級(jí)多線程數(shù)值求解器庫(kù)，支持分布式計(jì)算

軟件特色

1、快速的3D結(jié)構(gòu)原型設(shè)計(jì)能力可以對(duì)特定的處理問(wèn)題進(jìn)行深入的物理分析

2、全面的擴(kuò)散模型集：費(fèi)米，fullcpl，單對(duì)和五流

3、應(yīng)力分析的物理氧化模擬

4、Monte Carlo植入，擴(kuò)散，氧化和物理蝕刻和沉積的時(shí)間關(guān)鍵操作

5、高效多線程用于物理沉積和蝕刻的復(fù)雜多粒子通量模型與襯底材料再沉積

6、開放式架構(gòu)允許輕松引入和修改客戶特定的物理模型

7、無(wú)縫鏈接到3D設(shè)備模擬器，包括結(jié)構(gòu)鏡像，自適應(yīng)摻雜改進(jìn)和電極規(guī)格

8、易于學(xué)習(xí)，強(qiáng)大的調(diào)試模式和用戶友好的SUPREM樣語(yǔ)法

軟件亮點(diǎn)

·Product Bridge

·從模塊（模擬、SRAM、定制的數(shù)字）到芯片級(jí)的電源完整性簽收，包括電源、EM /IR和熱分析

·全定制設(shè)計(jì)流程，包括電路圖輸入、版圖、仿真和驗(yàn)證

·許多代工廠采用的PDK大型組合，重點(diǎn)在于AMS、HV、BCD和CIS工藝

·16nm和10nm FinFET制備并行SPICE仿真器被擴(kuò)展到FastSPICE應(yīng)用

·自動(dòng)化SRAM表征環(huán)境

·3D寄生RC提取器用于詳盡、精確的FinFET SRAM提取

·SPICE建模用于廣泛的模型類型，包括用于電源器件的HiSIM_HV以及用于有機(jī)和氧化物TFT的UOTFT

·像素和互連RC提取用于TFT顯示器

·3D TCAD產(chǎn)品用于大型應(yīng)用，包括快速的FinFET成型、多單元IGBT的大型結(jié)構(gòu)并行仿真、對(duì)溝槽MOS功率器件和CMOS圖像傳感器的強(qiáng)大而穩(wěn)定的氧化仿真、高精度的SiC/ GaN仿真、用于3D NAND閃存和STT MRAM、SEE和總劑量可靠性仿真的先進(jìn)蝕刻

Silvaco TCAD 2014安裝教程：

1、運(yùn)行安裝文件“16884-tcad-2014-00-win.exe”，在“Install License Server”前打上勾，點(diǎn)擊Next等待安裝完成  

2、安裝完畢后，會(huì)提示輸入服務(wù)器密碼（必須的），此時(shí)隨便設(shè)置一個(gè)密碼并記住就可以了。

3、運(yùn)行桌面上快鍵方式“S. EDA Tools”，選擇“Stop Server”來(lái)停止服務(wù)

4、把Crack文件夾中的rpc.sflmserverd.exe文件復(fù)制到安裝目錄覆蓋源文件，默認(rèn)安裝目錄為C:\sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.0.6.R\x86-nt

5、在快捷方式中運(yùn)行“Start Server”，確保下面的系統(tǒng)服務(wù)啟動(dòng)：

6、運(yùn)行Silvaco 2014快捷方式中的“SFLM Admin”打開服務(wù)器頁(yè)面： 

 

7、輸入剛才設(shè)置的密碼，點(diǎn)擊login.并復(fù)制記下方框中的“Machine IDs”，每個(gè)電腦的Machine ID都不一樣，比如在這個(gè)例子中是：“Shane-PC-dcd135d6-50b4108d”。

7、修改“Crack”文件文件夾中“License.lic”中下面的一行（用記事本打開），替換為您剛才復(fù)制的Machine IDs，然后復(fù)制粘貼在目錄sedatools\etc下。

NKSEA-THINK-f28ddc36-99695116NL_HOSTIDS替換成你的xxxxxxxxNL_HOSTIDS（如圖所示）。

 8、回到剛才的網(wǎng)頁(yè)上，選擇右邊的“Install new license”，選擇“Install Saved File”，如圖所示

9、點(diǎn)擊載入在目錄sedatools\etc下選擇剛才修改過(guò)的license文件，并點(diǎn)擊“Agree”

 

10、然后出現(xiàn)下方的提示，選擇Done就完成了，一定要保證方框中的文本和下方的Machine IDs保持一致！

運(yùn)行快捷方式中DeckBuild，如果沒有彈出錯(cuò)誤提示框，說(shuō)明安裝成功，但會(huì)彈出小對(duì)話框提示work目錄無(wú)效，在根目錄下建立一個(gè)work文件夾就好。在DeckBuild中的Edit目錄下，選擇“Preferences”就可以看到當(dāng)前的工作目錄。