Silvaco TCAD 2014安裝包

Silvaco TCAD 2014是一套功能全面的、具有領(lǐng)先優(yōu)勢的TCAD和EDA工具，其的核心產(chǎn)品涵蓋2D/3D TCAD、3D RC提取、SPICE模型提取、自定義設計、SPICE仿真和電源完整性簽收六大領(lǐng)域，功能強大，操作簡便，例子庫相當豐富，是初學TCAD的用戶最好的選擇

Silvaco TCAD 2014是以DeckBuild為運行核心仿真器的交互式環(huán)境工具，他給半導體工藝所有階段的設計仿真提供了強大的幫助。Silvaco TCAD軟件包括可視工具DeckBuild和Tonyplot、器件編輯器DevEdit、工藝仿真工具ATHENA和器件仿真工具ATLAS，可以對肖特基梁式引線二極管進行模擬設計及器件仿真。

軟件功能

【蝕刻和沉積】

具有用于快速結(jié)構(gòu)原型的幾何模型

用物理模型進行詳細的工藝步驟分析

【植入】

具有非常快的分析模型

具有非常精確的蒙特卡羅模型

【退火】

配合全面的摻雜擴散模型

具有氧化模型的層次結(jié)構(gòu)

【應力模擬】

有壓力工程的壓力史

通用2D / 3D設備模擬器

四面體網(wǎng)格，用于精確的3D幾何表示

用于保形Delaunay網(wǎng)格的Voronoi離散化

先進的物理模型，具有用戶自定義的硅和復合材料的材料數(shù)據(jù)庫

應力依賴移動性和帶隙模型

使用C-Interpreter或動態(tài)鏈接庫的高度可定制的物理模型

【DC，AC和瞬態(tài)分析】

漂移擴散和能量平衡傳輸方程

自發(fā)熱效應的自相關(guān)模擬，包括發(fā)熱，熱流，晶格加熱，散熱器和溫度依賴性材料參數(shù)

高級多線程數(shù)值求解器庫，支持分布式計算

軟件特色

1、快速的3D結(jié)構(gòu)原型設計能力可以對特定的處理問題進行深入的物理分析

2、全面的擴散模型集：費米，fullcpl，單對和五流

3、應力分析的物理氧化模擬

4、Monte Carlo植入，擴散，氧化和物理蝕刻和沉積的時間關(guān)鍵操作

5、高效多線程用于物理沉積和蝕刻的復雜多粒子通量模型與襯底材料再沉積

6、開放式架構(gòu)允許輕松引入和修改客戶特定的物理模型

7、無縫鏈接到3D設備模擬器，包括結(jié)構(gòu)鏡像，自適應摻雜改進和電極規(guī)格

8、易于學習，強大的調(diào)試模式和用戶友好的SUPREM樣語法

軟件亮點

·Product Bridge

·從模塊（模擬、SRAM、定制的數(shù)字）到芯片級的電源完整性簽收，包括電源、EM /IR和熱分析

·全定制設計流程，包括電路圖輸入、版圖、仿真和驗證

·許多代工廠采用的PDK大型組合，重點在于AMS、HV、BCD和CIS工藝

·16nm和10nm FinFET制備并行SPICE仿真器被擴展到FastSPICE應用

·自動化SRAM表征環(huán)境

·3D寄生RC提取器用于詳盡、精確的FinFET SRAM提取

·SPICE建模用于廣泛的模型類型，包括用于電源器件的HiSIM_HV以及用于有機和氧化物TFT的UOTFT

·像素和互連RC提取用于TFT顯示器

·3D TCAD產(chǎn)品用于大型應用，包括快速的FinFET成型、多單元IGBT的大型結(jié)構(gòu)并行仿真、對溝槽MOS功率器件和CMOS圖像傳感器的強大而穩(wěn)定的氧化仿真、高精度的SiC/ GaN仿真、用于3D NAND閃存和STT MRAM、SEE和總劑量可靠性仿真的先進蝕刻

Silvaco TCAD 2014安裝教程：

1、運行安裝文件“16884-tcad-2014-00-win.exe”，在“Install License Server”前打上勾，點擊Next等待安裝完成  

2、安裝完畢后，會提示輸入服務器密碼（必須的），此時隨便設置一個密碼并記住就可以了。

3、運行桌面上快鍵方式“S. EDA Tools”，選擇“Stop Server”來停止服務

4、把Crack文件夾中的rpc.sflmserverd.exe文件復制到安裝目錄覆蓋源文件，默認安裝目錄為C:\sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.0.6.R\x86-nt

5、在快捷方式中運行“Start Server”，確保下面的系統(tǒng)服務啟動：

6、運行Silvaco 2014快捷方式中的“SFLM Admin”打開服務器頁面： 

 

7、輸入剛才設置的密碼，點擊login.并復制記下方框中的“Machine IDs”，每個電腦的Machine ID都不一樣，比如在這個例子中是：“Shane-PC-dcd135d6-50b4108d”。

7、修改“Crack”文件文件夾中“License.lic”中下面的一行（用記事本打開），替換為您剛才復制的Machine IDs，然后復制粘貼在目錄sedatools\etc下。

NKSEA-THINK-f28ddc36-99695116NL_HOSTIDS替換成你的xxxxxxxxNL_HOSTIDS（如圖所示）。

 8、回到剛才的網(wǎng)頁上，選擇右邊的“Install new license”，選擇“Install Saved File”，如圖所示

9、點擊載入在目錄sedatools\etc下選擇剛才修改過的license文件，并點擊“Agree”

 

10、然后出現(xiàn)下方的提示，選擇Done就完成了，一定要保證方框中的文本和下方的Machine IDs保持一致！

運行快捷方式中DeckBuild，如果沒有彈出錯誤提示框，說明安裝成功，但會彈出小對話框提示work目錄無效，在根目錄下建立一個work文件夾就好。在DeckBuild中的Edit目錄下，選擇“Preferences”就可以看到當前的工作目錄。